อลูมิเนียมไนไตรด์-ถ้วยดูดสูญญากาศเซรามิกอะลูมิเนียมออกไซด์

หัวจับสุญญากาศแบบเซรามิกไม่ได้ทำจากวัสดุเซรามิกชนิดเดียว แต่ประกอบด้วยระบบที่สร้างขึ้นจากเซรามิกโครงสร้างประสิทธิภาพสูง-รวมกับวัสดุอื่นๆ

• อลูมินาเซรามิก (Al₂O₃): ใช้กันมากที่สุดโดยให้ต้นทุนสูง-ประสิทธิผล มีคุณสมบัติต้านทานการสึกหรอ ความเป็นฉนวนไฟฟ้า และความแข็งแรงทางกลที่ดีเยี่ยม เหมาะสำหรับการใช้งานทั่วไป-ส่วนใหญ่
• เซรามิกอะลูมิเนียมไนไตรด์ (AlN): โดดเด่นด้วยการนำความร้อนสูงเป็นพิเศษและซิลิคอนที่เข้ากันกับค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน ใช้เป็นหลักในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่ต้องการการให้ความร้อน/ความเย็นที่สม่ำเสมอและรวดเร็ว เช่น การเชื่อมแผ่นเวเฟอร์ การพิมพ์หิน และการแกะสลัก
• เซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC): มีความแข็งสูงสุด (โมดูลัสความยืดหยุ่น) และค่าการนำความร้อนในบรรดาวัสดุที่เป็นตัวเลือกทั้งหมด ควบคู่ไปกับค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนที่ต่ำมาก เหมาะสำหรับการใช้งานหนักที่ต้องการความเรียบและเสถียรภาพทางความร้อนเป็นพิเศษ แต่ยังเป็นตัวเลือกที่แพงที่สุดอีกด้วย

• หัวจับสุญญากาศแบบเซรามิกมีการกันลมอย่างดีเยี่ยม: วงจรสุญญากาศทั้งหมด รวมถึงช่องภายในภายในซับสเตรตเซรามิกและส่วนเชื่อมต่อแบบปิดผนึกระหว่างส่วนประกอบเซรามิกและโลหะ จะต้องเป็นไปตามมาตรฐานการกันลมที่เข้มงวด โดยทั่วไปการทดสอบจะใช้เครื่องตรวจจับการรั่วไหลของมวลฮีเลียมสเปกโตรมิเตอร์ ซึ่งต้องการอัตราการรั่วไหลที่ต่ำมาก (เช่น < 1x10⁻⁹ Pa·m³/s หรือต่ำกว่า)
• ความแข็งสูงและทนต่อการสึกหรอ: ความแข็ง Mohs สูงต้านทานการขีดข่วน ช่วยให้มั่นใจได้ถึงความแม่นยำของพื้นผิวในระยะยาว-และอายุการใช้งานที่ยาวนานขึ้น ตัวอย่างเช่น เซรามิกอลูมินามีความแข็งเป็นอันดับสองรองจากเพชรและซิลิคอนคาร์ไบด์เท่านั้น
• ความแข็งแกร่งสูง (โมดูลัสความยืดหยุ่นสูง): เกิดการเสียรูปน้อยที่สุด ภายใต้แรงดูดสุญญากาศ ตัวมือจับจะเกิดการโค้งงอหรือการบิดเบี้ยวเพียงเล็กน้อย ซึ่งรับประกันความเรียบของชิ้นงาน-ซึ่งมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อกระบวนการระดับนาโน เช่น การพิมพ์หิน

ป้ายกำกับยอดนิยม: อลูมิเนียมไนไตรด์-ถ้วยดูดสูญญากาศเซรามิกอลูมิเนียมออกไซด์, อลูมิเนียมไนไตรด์-ผู้ผลิตถ้วยดูดสูญญากาศเซรามิกอลูมิเนียมออกไซด์ ซัพพลายเออร์ โรงงาน, ท่อป้องกันซิลิกอนไนไตรด์