แหวนโฟกัสซิลิคอนคาร์ไบด์

วงแหวนสะสมเซรามิกอลูมินาทำหน้าที่เป็นส่วนประกอบสิ้นเปลืองที่สำคัญภายในห้องปฏิกิริยาของอุปกรณ์การตกสะสมไอสารเคมี (CVD) และอุปกรณ์การสะสมไอทางกายภาพ (PVD) -อุปกรณ์หลักในการผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์ ความต้องการในการเลือกใช้วัสดุและการใช้งานมีความเข้มงวดเป็นพิเศษ โดยทั่วไปจะติดตั้งรอบๆ ตัวพาเวเฟอร์ (หัวจับไฟฟ้าสถิต) โดยจะเป็นส่วนหนึ่งของพื้นที่ปฏิกิริยาของกระบวนการ ในสภาพแวดล้อมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความต้องการสูง บทบาทหลักของวงแหวนสะสมคือการปกป้องส่วนประกอบหลักที่มีราคาแพง (เช่น หัวจับไฟฟ้าสถิต) จากการปนเปื้อนและการสะสมของผลพลอยได้จากกระบวนการ ช่วยให้มั่นใจในความสม่ำเสมอของกระบวนการ และรักษาความสะอาดและความเสถียรของห้องเพาะเลี้ยง ประสิทธิภาพการทำงานส่งผลโดยตรงต่อเวลาทำงานของอุปกรณ์ ค่าบำรุงรักษา และผลผลิตชิปขั้นสุดท้าย ส่วนประกอบดังกล่าวจัดอยู่ในหมวดหมู่ของการตัดเฉือนอลูมินาเซรามิกที่มีความแม่นยำ ซึ่งต้องการข้อกำหนดที่เข้มงวดเพื่อความบริสุทธิ์สูงและประสิทธิภาพที่เหนือกว่าของวัสดุเซรามิกอลูมินา

• ความต้านทานการกัดกร่อนที่ยอดเยี่ยม: สามารถทนต่อการกัดกร่อนจากก๊าซพลาสมาที่มีฤทธิ์กัดกร่อนและมีปฏิกิริยาสูงต่างๆ ที่ใช้ในกระบวนการ CVD/PVD ทำให้มั่นใจได้ถึงอายุการใช้งานที่ยาวนานขึ้น
• ความต้านทานต่ออุณหภูมิสูง-ที่เหนือกว่า: รักษาความเสถียรของโครงสร้างและประสิทธิภาพที่อุณหภูมิกระบวนการสูงถึงหลายร้อยหรือหลายพันองศาเซลเซียสโดยไม่มีการเสียรูปหรือการหลอมละลาย ซึ่งแสดงให้เห็นคุณลักษณะของเซรามิกอลูมินาที่มีอุณหภูมิสูง-
• ความบริสุทธิ์สูงและการปนเปื้อนต่ำ: เซรามิกอลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูง- (เช่น 99.9% หรือสูงกว่า) ช่วยลดการปล่อยสิ่งปนเปื้อน เช่น ไอออนของโลหะจากวัสดุเข้าไปในห้องกระบวนการภายใต้-อุณหภูมิสูงและสภาวะพลาสมา เพื่อป้องกันการปนเปื้อนของเวเฟอร์
• ความแข็งแรงและความแข็งทางกลที่ดีเยี่ยม: มีความแข็งแกร่งเพียงพอที่จะรักษาความเสถียรของมิติในขณะที่ทนต่อความเค้นทางกลและแรงในการติดตั้ง คุณสมบัติทางกลที่แข็งแกร่งเป็นรากฐานสำหรับทุกรูปแบบ-ไม่ว่าจะเป็นแผ่นเซรามิกอลูมินา แท่งเซรามิกอลูมินา (แท่งอลูมินา) หรือท่ออลูมินา
• ฉนวนที่เหนือกว่า: เนื่องจากอลูมินาเซรามิกเป็นวัสดุฉนวนจึงไม่รบกวนฟังก์ชันการยึดเกาะของหัวจับไฟฟ้าสถิตสำหรับเวเฟอร์ จึงมั่นใจในความปลอดภัยและเสถียรภาพของกระบวนการ
• การนำความร้อนปานกลาง: ช่วยให้สนามอุณหภูมิภายในห้องเป็นเนื้อเดียวกันพร้อมทั้งป้องกันความร้อนสูงเกินไป
• ความแม่นยำสูงและความสามารถในการแปรรูป: ด้วยเทคนิคการขึ้นรูปเซรามิกขั้นสูงและการตัดเฉือนที่มีความแม่นยำ ทำให้ได้รูปทรงที่ซับซ้อนพร้อมความแม่นยำด้านมิติและการตกแต่งพื้นผิวที่ยอดเยี่ยม

• วัตถุดิบ: ต้องใช้ผงอลูมินาเนื้อละเอียด โดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับเซรามิกอลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูง- อะลูมิเนียมออกไซด์ (Al2O3) เป็นสารเคมีพื้นฐาน
• การขึ้นรูปและการเผา: เกี่ยวข้องกับผู้ผลิตเซรามิกอลูมินาที่ใช้เทคนิคในการผลิตช่องว่างเซรามิกอลูมินา
• การตัดเฉือนที่แม่นยำ: ดำเนินการโดยผู้เชี่ยวชาญด้านการตัดเฉือนอลูมินาเซรามิกหรือซัพพลายเออร์ชิ้นส่วน โดยเปลี่ยนช่องว่างให้เป็นส่วนประกอบขั้นสุดท้าย เช่น แผ่นเซรามิกอลูมินา แท่งเซรามิกอลูมินา หรือชิ้นส่วนโครงสร้างเซรามิกอลูมินาที่ซับซ้อน
• รูปแบบและการใช้งานอื่นๆ: นอกเหนือจากวงแหวนการสะสมแล้ว เซรามิกอลูมินายังมีการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์ที่หลากหลาย เช่น พื้นผิวเซรามิกอลูมินา (พื้นผิว al2o3) สำหรับบรรจุภัณฑ์ เมมเบรนเซรามิกอลูมินา และท่อเส้นใยอลูมินาสำหรับเป็นฉนวน

เราปฏิบัติตามระบบการจัดการคุณภาพ ISO 9001 อย่างเคร่งครัดเพื่อให้มั่นใจว่ามีความสม่ำเสมอ:

• การตรวจสอบวัตถุดิบ 100%
• สายการผลิตกดร้อน-ขั้นสูง
• การทดสอบภายใน-: ความหนาแน่น ความแข็ง การวิเคราะห์โครงสร้างจุลภาค
• การรับรองจากบุคคลที่สาม- (SGS, CE, ROHS ตามคำขอ)

ป้ายกำกับยอดนิยม: แหวนโฟกัสซิลิคอนคาร์ไบด์ ผู้ผลิตแหวนโฟกัสซิลิคอนคาร์ไบด์ ซัพพลายเออร์ โรงงาน