แผ่นดิสก์ตัวพาซิลิคอนคาร์ไบด์

แผ่นพาหะเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ผลิตจากวัตถุดิบซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC) ที่มีความบริสุทธิ์สูง-ผ่านกระบวนการต่างๆ เช่น การเผาผนึกปฏิกิริยา (ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่พันธะด้วยปฏิกิริยา) การเผาผนึกแบบไร้แรงดัน (ซิลิคอนคาร์ไบด์เผาผนึก) หรือการตกผลึกใหม่ (ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ตกผลึกใหม่ / SiC ที่ตกผลึกใหม่) วัสดุ SiC นั้นมีพันธะโควาเลนต์ที่แข็งแกร่งและมีโครงสร้างที่มั่นคง ส่งผลให้เพลตตัวพามีคุณสมบัติทางกายภาพและเคมีที่โดดเด่น (คุณสมบัติซิลิคอนคาร์ไบด์) โดยทั่วไปจะใช้แทนวัสดุแบบดั้งเดิม เช่น ควอตซ์และอลูมินา โดยเฉพาะอย่างยิ่งในด้านที่ต้องการมาตรฐานที่สูงมากในด้านความสะอาด ทนต่ออุณหภูมิ และทนต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ

• ความต้านทานต่ออุณหภูมิสูง-: สามารถทำงานในระยะยาว-ได้อย่างเสถียรในสภาพแวดล้อมที่สูงกว่า 1600 องศา โดยมีความทนทานในระยะสั้น-ถึง 1650 องศาหรือสูงกว่า เหมาะสำหรับสถานการณ์การใช้งานเซรามิกอุณหภูมิสูงพิเศษ- (เซรามิกอุณหภูมิสูงพิเศษ)
• การนำความร้อนดีเยี่ยม: การนำความร้อนสูงของซิลิคอนคาร์ไบด์ช่วยให้ถ่ายเทความร้อนได้รวดเร็วและสม่ำเสมอ ลดการไล่ระดับอุณหภูมิระหว่างกระบวนการ
• ความแข็งสูงและความต้านทานการสึกหรอ: ด้วยความแข็ง Mohs ใกล้ 9.5 จึงเป็นเซรามิกที่ทนทานต่อการสึกหรอ-ดีเยี่ยม ทนทานต่อการสึกหรอและการปนเปื้อนของอนุภาค
• ทนต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรุนแรง: เนื่องจากมีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวจากความร้อนต่ำ จึงสามารถทนต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิที่รุนแรงได้โดยไม่แตกร้าว
• ความเฉื่อยของสารเคมี: ทนทานต่อการกัดกร่อนของกรดและด่าง และไม่น่าจะทำปฏิกิริยากับก๊าซหรือวัสดุในกระบวนการส่วนใหญ่ องค์ประกอบทางเคมีของซิลิคอนคาร์ไบด์มีความเสถียร
• ความสะอาดสูง: วัสดุมีโครงสร้างหนาแน่น เช่น SiC เผาผนึก โดยมีพื้นผิวเรียบที่ลดการดูดซับสิ่งเจือปนให้เหลือน้อยที่สุด ทำให้เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมกระบวนการที่มีความบริสุทธิ์สูง-

• อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์: ใช้สำหรับบรรทุกเวเฟอร์ซิลิคอนในกระบวนการที่อุณหภูมิสูง- เช่น การแพร่กระจาย การออกซิเดชัน การอบอ่อน และ CVD ยังใช้เป็นสารตั้งต้น SiC สำหรับ epitaxy เวเฟอร์ซิลิคอนอีกด้วย
• อุตสาหกรรมไฟฟ้าโซลาร์เซลล์: ทำหน้าที่เป็นสารตั้งต้นพาหะในกระบวนการเผาผนึกและการเคลือบเซลล์แสงอาทิตย์
• การผลิต LED: ใช้ในเครื่องปฏิกรณ์ MOCVD เพื่อบรรทุกซับสเตรตแซฟไฟร์
• การเผาผนึกเซรามิกที่แม่นยำ: ทำหน้าที่เป็นชั้นวางเตาเผาหรือการเผาที่อุณหภูมิสูง-ของเซรามิกอิเล็กทรอนิกส์ เซรามิกที่มีโครงสร้าง และคอมโพสิตเมทริกซ์เซรามิก
• ชิ้นส่วนทางอุตสาหกรรม: ใช้กันอย่างแพร่หลายในการผลิตแหวนซีลเชิงกล ตลับลูกปืน หัวฉีด บูช/บุช ท่อป้องกัน/ท่อเทอร์โมคัปเปิล และส่วนประกอบ SiC อื่นๆ
• วัสดุทนไฟ: ทำหน้าที่เป็นวัสดุทนไฟขั้นสูงที่ใช้สำหรับวัสดุบุผิวเตา
• การวิจัยและการทดสอบทางวิทยาศาสตร์: ทำหน้าที่เป็นอุปกรณ์สนับสนุนตัวอย่างในเตาเผาที่มีอุณหภูมิสูง-และการทดสอบวัสดุ

ป้ายกำกับยอดนิยม: แผ่นดิสก์ตัวพาซิลิคอนคาร์ไบด์ ผู้ผลิตดิสก์ตัวพาซิลิคอนคาร์ไบด์ ซัพพลายเออร์ โรงงาน, หลอดเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์หัวฉีดเซรามิก